项目建设地点:项目选址于清河区景秀路西侧、珠海路南侧。
项目建设规模及内容:项目已审核备案,项目总用地面积88320平方米(以国土部门依法核定的用地面积为准),新建办公业务用房、生产厂房、职工食堂和宿舍等建(构)筑物总建筑面积23581.05平方米。购置蓝绿光外延片炉MOCVD、Sputter、DBR光学镀膜机、电感耦合等离子刻蚀机(ICP)、氨氢氮气纯化机、光刻机、皮秒激光划片机、AOI、气相化学辅助沉积台(PECVD)、匀胶机、显影机、真空烤盘炉、金属蒸发台、ITO蒸发台、快速退火炉(RTA)、XRD高分辨率衍射仪、研磨机、MOCVD尾气处理器等各类进口和国产生产及辅助设备600台(套)。项目以贵金属、化学材料、蓝宝石衬底、MO源、特种气体为主要原料,LED外延片项目生产线采用的主要工艺为:蓝宝石衬底?装片?反应室?出炉?检测?入库;蓝绿芯片项目生产线采用的主要工艺为:蓝宝石衬底?装片?反应室?出炉?检测?入库(外延片)?ITO镀膜?MESA光刻?ICP蚀刻?TC光刻?蚀刻?合金?PAD光刻?Ti/Au蒸镀?剥离?合金?SiO2沉积?PSV光刻?蚀刻?研磨?切割裂片?测试分类?目检入库。项目建成达产后,可形成年产LED外延片180万片、蓝绿芯片115亿粒的生产能力。
项目投资及资金来源:项目估算总投资80770.71万元,其中,建设投资75770.71万元,铺底流动资金5000万元,资金来源由企业自筹及银行贷款解决。
建设单位:淮安澳洋顺昌光电技术有限公司
电话:0512-58161221